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舜宇SOPTOP MX12R 半导体 \FPD 检查显微镜

项目介绍:

全新的MX12R半导体 \FPD 检查显微镜,最大支持 300mm 晶圆及 17英寸液晶面板的检查,含 4、6、8、12英寸多种转盘,可适用不同尺寸的晶圆检查。人机工程学设计全面提升,为用户提供更加舒适、灵活、快捷的操作体验。


事宜人群:
  • 产品参数
  • 详细参数

全新的MX12R半导体 \FPD 检查显微镜,最大支持 300mm 晶圆及 17英寸液晶面板的检查,含 4、6、8、12英寸多种转盘,可适用不同尺寸的晶圆检查。人机工程学设计全面提升,为用户提供更加舒适、灵活、快捷的操作体验。
 


舜宇SOPTOP MX12R 半导体 \FPD 检查显微镜

舜宇SOPTOP MX12R 半导体 \FPD 检查显微镜

舜宇SOPTOP MX12R 半导体 \FPD 检查显微镜

舜宇SOPTOP MX12R 半导体 \FPD 检查显微镜

技术参数


型号

MX12R

光学系统

无限远色差校正光学系统

可选择的观察方法

明场/斜照明/偏振光/DIC/透射光

观察筒

无限远铰链三通观察筒,0-35°倾角可调,正像,瞳距调节 :50-76mm,分光比 100:0 或 0:100

目镜

高眼点大视野平场目镜 PL10X/25mm,视度可调,可带单刻度十字分划版

物镜

无限远明暗场半复消金相 DIC 物镜 5X 10X 20X 50X 100X

转换器

明暗场六孔电动转换器,带 DIC 插槽

电动平台

面积 495mmX641mm,移动范围 :306mmX306mm ;软件控制 X、Y 移动,重复定位精度,(3+L/50)μm 带平板平台

显微镜镜体

反射式机架,前置低手位粗微同轴调焦机构。粗调行程35mm,微调精度0.001mm。带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置。内置 100-240V 宽电压系统

透反机架,前置低手位粗微同轴调焦机构。粗调行程 35mm,微调精度 0.001mm。带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置。内置 100-240V 宽电压系统

照明系统

明暗场反射照明器 , 带可变电动孔径光阑,视场光阑 , 中心均可调 ;带明暗场照明切换装置 ;带滤色片插槽与偏光装置插槽

摄影目镜

0.5X/0.65X/1X 摄像接筒三选一,C 型接口,可调焦

可选附件

无限远长工作距明暗场半复消金相 DIC 物镜 20X

无限远长工作距明暗场半复消金相物镜 50X 、100X

起偏镜插板,固定式检偏镜插板

反射用干涉滤色片组

高精度测微尺

DIC 组件

MX12R 半导体 \FPD 检查显微镜

MX12R 半导体 \FPD 检查显微镜



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